반도체 산업의 발전 속도는 날로 증가하고 있으며, 그 중심에 위치한 스타트업 헬리오스가 최근 프리시드 투자를 유치하며 주목받고 있다. 헬리오스는 경북창조경제혁신센터, 파트너스라운지, 포스텍홀딩스의 지원을 받아 반도체 박막 정밀계측 장비를 개발하고 있는 혁신적인 기업이다. 이번 투자 유치는 헬리오스가 보유한 기술의 잠재력을 인정받은 것이라 할 수 있으며, 이들은 비공개로 진행된 투자금으로 2026년 중 소형 테이블탑 계측 장비의 출시를 목표로 하고 있다.
헬리오스는 인하대학교 물리학과의 유석재 교수가 지난해 12월 설립한 대학 스핀오프 스타트업으로, 다년간의 연구 경험을 바탕으로 사업화에 나선 경우이다. 유 대표는 인하대 물리학과에서 축적한 광학 계측 원천기술을 활용하여, 기존의 기술적 한계를 뛰어넘는 차세대 계측 장비의 개발에 매진하고 있다. 헬리오스가 목표로 하는 솔루션은 반도체 웨이퍼 위에 쌓이는 박막의 두께를 정밀하게 측정할 수 있는 장비로, 기존의 방식과는 차별화된 기술력을 자랑한다.
헬리오스의 독창적인 ‘마이크로 엘립소메트리(Micro Ellipsometry)’ 기술은 빛의 파장과 각도를 동시에 측정함으로써, 기존 장비에서 경험하던 한계를 극복할 수 있는 가능성을 열어준다. 이 기술은 하나의 대물렌즈를 통해 다양한 각도와 파장의 빛을 동시에 분석할 수 있어, 사전 정보 없이도 정밀한 자동 계측을 수행하는 혁신성을 보여준다. 이러한 기술적 발전은 헬리오스가 글로벌 반도체 박막 계측장비 시장에서 경쟁력을 갖추는 데 큰 역할을 할 것으로 기대된다.
현재 글로벌 시장에서 반도체 박막 계측장비는 미국 기업들이 주도하고 있으며, 헬리오스는 이와의 경쟁에서 두각을 나타내기 위해 3D 낸드플래시 박막 계측을 첫 적용 분야로 선정하고, 국내 주요 협력사와의 NDA를 체결하여 공동개발(JDP)을 진행하고 있다. 또한 중소벤처기업부의 디딤돌 연구개발(R&D) 과제를 수주하여, 기술적 기반을 더욱 강화하고 있다.
유석재 헬리오스 대표는 “박막 두께 계측 기술은 반도체 분야에서 오랜 역사를 가지고 있지만, 많은 부분에서 현대의 미세화된 반도체 공정과의 간극이 존재한다”며, “마이크로 엘립소메트리 기술을 통해 이러한 간극을 해소하고, 글로벌 시장에서 경쟁할 수 있는 한국의 대표 계측장비 기업으로 자리매김하겠다”고 포부를 밝혔다.
이번 투자를 주도한 정인오 파트너스라운지 파트너는 헬리오스의 기술력을 높이 평가하며 “헬리오스는 검증된 연구 성과를 바탕으로 기존 장비의 한계를 뛰어넘는 초미세 박막 계측 장비를 개발했다”며, “이들이 연구용 소형 장비부터 양산용 대형 장비로 성공적으로 라인업을 확장하여, 국내 최고 수준의 광계측 토탈 솔루션 기업으로 도약하길 바란다”고 전했다.
헬리오스의 이번 프리시드 투자 유치는 반도체 산업의 미래를 밝히는 중요한 이정표가 될 것으로 기대되며, 앞으로의 행보가 주목된다.
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