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반도체 산업의 혁신을 이끌고 있는 팸텍이 최근 미국에서 자동화된 반도체 웨이퍼 샘플 전처리 시스템에 대한 특허를 등록했다. 이 소식은 8일 서울에서 전해졌으며, 팸텍은 CCM 및 반도체 자동화 장비 전문 기업으로 널리 알려져 있다. 이번 특허의 공식 명칭은 ‘AUTOMATED SEMICONDUCTOR WAFER SAMPLE PRE-PROCESSING SYSTEM’으로, 이미 국내에서 동일한 기술로 특허가 확보된 바 있다. 팸텍의 최신 기술은 웨이퍼의…