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PSK(피에스케이)가 최근 램리서치의 베벨 에처 특허에 대해 추가로 무효 판정을 받은 사실이 업계의 주목을 받고 있다. 이번 판정은 한국 특허심판원이 진행한 무효심판 환송사건에서 내려진 결정으로, 램리서치가 지난 8월 특허침해소송 변론 기일에서 해당 특허에 대한 침해 주장을 철회한 바 있다. 이로 인해 전체 분쟁에 미치는 영향은 크지 않을 것으로 예상된다. 베벨 에처는 반도체 제조 공정에서 웨이퍼…