[태그:] RF 전력 측정
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핵융합연의 고주파 전력 측정 기술이 반도체 산업에 새로운 전환점을 가져온다
한국핵융합에너지연구원(KHNP)은 최근 ㈜아센디아와의 협력을 통해 반도체 및 디스플레이 산업의 경쟁력을 한층 강화할 수 있는 고정밀 RF 파워 측정 기술의 기술실시계약을 체결했다. 이 기술은 현대 반도체 제조 공정에서 필수적인 플라즈마 장비에 적용되어, 복잡한 공정 조건에서도 정밀한 전력 측정을 가능하게 한다. 최근 반도체 및 디스플레이 산업은 미세화와 고도화의 길을 걷고 있으며, 이에 따라 플라즈마 장비의 상태를 정확하게…