[태그:] 고정밀 측정기술

최근 한국핵융합에너지연구원이 개발한 고정밀 RF 전력 측정기술이 반도체 및 디스플레이 제조 공정에 도입되면서 업계의 이목을 끌고 있다. 이 기술은 플라즈마에 실제로 전달되는 고주파(RF) 전력을 보다 정확하게 측정할 수 있는 혁신적인 방법으로, 공정 미세화가 진행되는 현재의 제조 환경에서 그 중요성이 더욱 부각되고 있다. 특히, 공정 안정성과 수율 향상을 도모하는 데 큰 기여를 할 것으로 기대되고 있다.…