최근 한국핵융합에너지연구원과 아센디아 간의 기술실시계약 체결이 주목받고 있다. 이 계약은 반도체 및 디스플레이 제조 공정에서 필수적인 고정밀 RF 파워 측정 기술을 도입하기 위한 것으로, 양측의 공동 연구가 결실을 맺은 사례라 할 수 있다. 계약 서명식에서 아센디아의 박문수 대표이사와 핵융합연의 오영국 원장은 기념촬영을 하며 이 기술의 발전 가능성에 대해 언급했다.
이번에 개발된 기술은 반도체와 디스플레이 장비의 플라즈마 공정에서 고주파 전력을 정밀하게 측정하는 데 중점을 두고 있다. 반도체 공정이 점점 더 미세화되고 고도화됨에 따라, 공정에서의 전력 전달 상태를 정확히 측정하는 기술은 공정의 안정성과 수율을 확보하는 데 필수적이다. 기존의 전력 측정 방식은 전압과 전류를 기반으로 하여 복잡한 플라즈마 조건에서 정확한 측정이 어렵다는 한계를 가지고 있었으나, 핵융합연이 개발한 DiCoVI 센서는 방향성 결합 기술을 도입하여 그 정확성을 더욱 높였다.
DiCoVI 센서는 고주파 전력의 전달 상태를 실시간으로 모니터링할 수 있는 기능을 갖추고 있어 장비 상태의 점검 및 공정 진단에 활용될 수 있다. 이는 반도체 산업의 경쟁력을 높이는 데 기여할 것으로 기대된다. 이 기술은 2020년부터 국가과학기술연구회 융합연구단 사업으로 진행된 플라즈마장비지능화 연구와 올해 시작된 전략연구사업인 ‘초미세공정용 반도체 장비 개발’에서 축적된 성과를 바탕으로 하고 있다.
핵융합연은 이번 기술을 통해 플라즈마 계측 및 진단 기술을 반도체 및 디스플레이 장비 분야로 확장하고, 산업 현장의 공정 진단 및 장비 지능화를 지원하여 반도체 분야의 기술 경쟁력 강화를 목표로 하고 있다. 아센디아는 1990년 설립 이후 RF 전원 공급 장치, RF 매처, 필터 및 튜너 등 반도체 플라즈마 공정용 핵심 부품을 개발해 온 기업으로, DiCoVI 센서를 자사 RF 매처에 적용하여 고정밀 측정 기능을 갖춘 차세대 RF 매처의 개발과 사업화를 계획하고 있다.
오영국 핵융합연 원장은 “핵융합 기술 개발 과정에서 축적된 플라즈마 원천기술은 반도체, 디스플레이 등 다양한 첨단 산업에 폭넓게 적용될 수 있다”라며, “앞으로도 연구원이 보유한 핵심 기술이 산업 현장으로 확산될 수 있도록 기업과의 기술 협력을 적극 확대해 나가겠다”라고 말했다. 이와 같은 연구와 기술 이전은 반도체 산업의 발전에 중요한 역할을 할 것으로 기대되며, 앞으로의 성과가 더욱 기대되는 바이다.
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