HPSP가 최근 예스티와의 특허분쟁에 대해 적극적인 법적 대응을 예고하며 업계의 관심을 모으고 있다. 김근영 HPSP 전무는 25일 수원에서 열린 임시주주총회 후의 기자 간담회에서 이 같은 입장을 밝혔다. HPSP는 반도체 공정용 고압수소어닐링(HPA) 장비와 관련하여 예스티를 상대로 특허침해소송을 제기한 상태이다. 이번 특허분쟁의 핵심은 HPSP가 주장하는 특허의 유효성과 예스티의 침해 여부에 관한 것이다. 지난 18일 특허법원은 HPSP가 제기한 심결취소소송 3건을 모두 기각했으나, 이는 예스티와의 특허침해소송과는 별개로, 아직 서울중앙지방법원에서의 판결은 나오지 않은 상황이다.
특허법원의 판단에 따르면, HPSP의 쟁점 특허인 ‘반도체 기판 처리용 챔버 개폐장치'(등록번호 1553027, 이하 ‘027 특허’)는 유효하다고 인정받았다. 그러나 예스티가 이 특허를 침해하지 않았다는 결론이 내려져, 양측의 입장이 엇갈리는 상황이 지속되고 있다. 김 전무는 이와 관련해, 특허법원의 최근 판결이 이전의 특허심판원 심결을 단순히 반복한 것에 불과하다고 지적하며, 서울중앙지법에서의 특허침해소송에서 본격적으로 대응하겠다고 덧붙였다.
HPSP의 ‘027 특허’는 예스티와의 분쟁에서 핵심적인 역할을 하고 있으며, 특허심판원에서 HPSP가 정정심판을 청구하여 권리범위를 좁힌 결과, 권리범위가 명확해졌다는 주장을 하고 있다. 김 전무는 정정심판 후에도 권리범위가 크게 좁혀지지 않았다고 강조하며, HPSP가 특허침해소송에서 우위를 점할 가능성을 시사했다.
이번 특허분쟁은 HPSP와 예스티 간의 경쟁에서 더욱 치열하게 전개되고 있다. HPSP는 과거 고압수소어닐링 장비 시장에서 독점적인 위치를 차지했으나, 예스티가 지난해 말부터 시장에 진입하면서 상황이 변화했다. 특히 예스티는 지난 3월 첫 고압수소어닐링 장비 출하식을 진행하며, 시장 점유율 확대를 노리고 있다.
HPSP는 예스티가 제기한 무효심판과 소극적 권리범위확인심판에 대해 적극적으로 대응할 계획이다. 예스티는 HPSP의 또 다른 특허에 대해서도 무효심판을 청구했으나, HPSP는 이에 대해 불복하며 법적 절차를 이어가고 있다.
이번 임시주총에서는 이케빈기두 사내이사 선임 안건도 가결되었다. 이케빈기두 사내이사는 인텔 엔지니어 출신으로, 현재 크레센도에쿼티파트너스의 대표를 맡고 있어 HPSP의 기술적 자문 역할을 할 것으로 기대된다.
HPSP와 예스티 간의 특허분쟁은 단순한 법적 다툼을 넘어, 반도체 공정 기술의 발전과 시장 점유율 경쟁에 큰 영향을 미칠 것으로 보인다. HPSP는 예스티와의 특허침해소송에서 성과를 낼 수 있을지, 향후 진행 상황이 주목된다.
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