PSK(피에스케이)가 최근 램리서치의 베벨 에처 특허에 대해 추가로 무효 판정을 받은 사실이 업계의 주목을 받고 있다. 이번 판정은 한국 특허심판원이 진행한 무효심판 환송사건에서 내려진 결정으로, 램리서치가 지난 8월 특허침해소송 변론 기일에서 해당 특허에 대한 침해 주장을 철회한 바 있다. 이로 인해 전체 분쟁에 미치는 영향은 크지 않을 것으로 예상된다.
베벨 에처는 반도체 제조 공정에서 웨이퍼 가장자리에 형성된 불필요한 박막을 제거하는 장비로, PSK는 2021년부터 이 기술을 SK하이닉스에 공급해 왔다. 그러나 램리서치는 PSK에 대해 특허침해소송을 제기하며 분쟁의 불씨를 지폈다. 이에 대해 PSK는 무효 분쟁으로 응수하며 자신의 기술을 방어해 나갔다.
이번에 무효 판정을 받은 특허는 ‘프로세스 챔버에서 프로세스 제외 및 프로세스 실행의 영역들을 규정하는 장치’라는 제목의 ‘221 특허’로, 특허심판원은 PSK의 주장대로 청구항 4~23항이 무효라고 판단했다. 이러한 심결은 아직 최종 확정되지 않았지만, 램리서치가 이미 해당 특허에 대한 침해 주장을 철회한 만큼, 이 판정의 결과가 전체 소송에 미치는 영향은 미미할 것으로 보인다.
지난 2024년 8월, 특허법원은 ‘221 특허를 무효라고 판결한 바 있으며, 이는 램리서치가 PSK를 압박하기 위해 사용했던 무기 중 하나였다. 특허법원은 이전에 특허심판원이 내린 유효 판단을 취소했으며, 이로 인해 PSK는 무효심판 환송 사건에서 긍정적인 결과를 얻게 되었다. 이러한 변화 속에서 램리서치는 ‘221 특허의 정정을 시도했으나, 특허심판원은 이 정정 요구를 기각했다.
특허침해소송에서 램리서치가 결국 철회한 특허는 ‘플라즈마 에칭 챔버’ 특허(등록번호 1249247)로, 이 특허는 현재 PSK와의 분쟁에서 남아 있는 유일한 쟁점이다. 이 특허의 특허권자는 참엔지니어링이며, 램리서치는 해당 특허에 대한 독점사용권을 보유하고 있다. 특허침해소송에서 특허 1건과 청구항 1개만으로도 침해가 입증될 경우, 특허권자가 승소할 수 있는 구조이다.
‘247 특허는 반도체 웨이퍼의 테두리 부분을 플라즈마로 정밀하게 가공하는 장비에 관한 기술로, 웨이퍼 중앙의 절연 패널과 테두리의 패널 링으로 구성되어 있다. 이러한 구성은 플라즈마의 밀도와 흐름을 조절하여 웨이퍼 가장자리에 최적의 가공을 가능하게 한다. PSK는 이와 같은 기술력을 바탕으로 지속적으로 경쟁력을 높여가고 있으며, 램리서치와의 분쟁에서 다수의 특허 무효화를 이끌어내는 성과를 올리고 있다.
PSK는 2021년부터 2022년까지 램리서치의 특허 4건과 참엔지니어링의 특허 2건에 대해 무효 분쟁을 진행해왔으며, 이 과정에서 5건의 특허를 무효로 만드는 성과를 거두었다. 특히, ‘247 특허에 대해서는 최근 대법원의 판결로 유효하다는 결정을 받았다. 이러한 일련의 사건들은 반도체 산업에서의 기술 경쟁과 지적재산권 보호의 중요성을 다시 한번 확인시켜준다. PSK는 앞으로도 지속적으로 기술 혁신을 통해 시장에서의 입지를 강화해 나갈 것으로 기대된다.
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