한국핵융합에너지연구원(KHNP)은 최근 ㈜아센디아와의 협력을 통해 반도체 및 디스플레이 산업의 경쟁력을 한층 강화할 수 있는 고정밀 RF 파워 측정 기술의 기술실시계약을 체결했다. 이 기술은 현대 반도체 제조 공정에서 필수적인 플라즈마 장비에 적용되어, 복잡한 공정 조건에서도 정밀한 전력 측정을 가능하게 한다.
최근 반도체 및 디스플레이 산업은 미세화와 고도화의 길을 걷고 있으며, 이에 따라 플라즈마 장비의 상태를 정확하게 진단하는 기술의 필요성이 더욱 커지고 있다. 전통적인 전력 측정 방식은 전압과 전류를 기반으로 하여 전력 상태를 판단하는데, 이러한 방법은 복잡한 플라즈마 공정의 변수를 고려하지 못해 정확한 측정이 어려운 한계가 있다.
한국핵융합연이 개발한 DiCoVI(Directional Coupled VI) 센서는 기존 센서 방식에 방향성 결합 기술을 적용하여 측정 정확도를 획기적으로 향상시킨 것이 특징이다. 이 센서는 장비 운전 중 고주파 전력의 전달 상태를 보다 정밀하게 확인할 수 있도록 해, 장비 상태 모니터링과 공정 진단에 유용하게 사용될 수 있다.
이번 기술 개발은 한국핵융합연이 2020년부터 국가과학기술연구회의 융합연구단 사업으로 추진해온 플라즈마 장비 지능화 프로젝트와 올해 시작된 전략 연구사업인 ‘초미세공정용 반도체 장비 개발’을 통해 이루어진 성과로, 이 기술들은 반도체 및 디스플레이 산업의 경쟁력 강화를 위한 큰 기반이 될 것으로 기대된다.
㈜아센디아는 1990년에 설립된 이후, 반도체 플라즈마 공정에 필요한 RF 전력 핵심 부품을 개발하고 제조해온 전문 기업이다. 이번 기술 계약을 통해 아센디아는 DiCoVI 센서를 자사의 RF 매처에 적용하여 고정밀 측정 기능을 갖춘 차세대 RF 매처 개발과 사업화에 나설 예정이다.
오영국 한국핵융합에너지연구원장은 “핵융합 기술 개발 과정에서 축적한 플라즈마 원천 기술은 반도체와 디스플레이 등 다양한 첨단 산업에 폭넓게 활용될 수 있다”며, “앞으로도 연구원이 보유한 핵심 기술이 산업 현장으로 확산될 수 있도록 기업과의 기술 협력을 적극 확대해 나가겠다”고 밝혔다.
이 기술의 상용화는 반도체 산업의 공정 진단 및 장비 지능화에 기여할 뿐만 아니라, 한국의 첨단 산업 전반에 걸쳐 혁신을 가져올 것으로 기대된다. 고주파 전력 측정 기술의 발전은 반도체 제조의 효율성을 높이고, 궁극적으로는 글로벌 시장에서의 경쟁력을 강화하는 데 중요한 역할을 할 것이다.
[관련기사] https://n.news.naver.com/mnews/article/016/0002664355?sid=105
답글 남기기